Contrôle des propriétés de films minces de RuO 2 déposés par pulvérisation cathodique magnétron réactive assistée d'une source d'ionisation additionnelle. D. Benzeggouta, M.C. Hugon, O. Voldoire, M. Ganciu, J. Bretagne, B. Agius, R. Sireilles, C. Berthier, P. Aubert 17 Dépôt de couches minces d'AlN orienté par PECVD micro-ondes.
Dépôts multicouches Fe/W sur substrat de Fe par pulvérisation magnétron D. C. Le masque des tubes cathodiques est un element determinant pour la qualite de l'image d'un televiseur. Le masque est une grille de fer (Fe) oxydee sous forme de magnetite (Fe3O4). Le bombardement….
Au cours de ce mémoire, les couches minces ont été obtenues par pulvérisation cathodique magnétron RF. Les différentes caractéristiques de cette technique sont développées dans la suite, mais nous précisons tout d'abord des notions de base de la pulvérisation. 2.6.1 Principe de la pulvérisation
Cette etude porte sur l'elaboration et la caracterisation des proprietes de revetements de phases Magneli de titane (TinO2n-1) en vue de leur application tribologique. Les depots ont ete elabores par pulverisation cathodique magnetron en condition reactive a partir de cible metallique de titane dans une atmosphere O2/Ar sur un porte …
Système de pulvérisation cathodique magnétron amélioré pour subtrats de grande surface Family Cites Families (19) * Cited by examiner, † Cited by third party; Publication number Priority date Publication date Assignee Title; US3514391A (en) * : : Nat Res Corp ...
Apres obtention des phases cubique (CrN) et hexagonale (melange Cr2N+Cr ou CrN+CrN) du nitrure de chrome par pulverisation triode et magnetron, celles-ci ont ete caracterisees de maniere fine (EDS, WDS, DRX, SEM, STM, AFM, HRTEM, XPS et SIMS). Ces couches presentent de bonnes proprietes physico-chimiques et sont stables thermiquement …
Magnetic Technology in Magnetron Sputtering. The phenomenon that utilizes high-energy particles to bombard the surface of the solid target and thus atoms platter from the surface of the solid target after exchanged kinetic energy with high-energy particles is called sputtering. The sputtered atoms have a certain momentum and hence …
Cette etude porte sur l'elaboration et la caracterisation des proprietes de revetements nanostructures a base de nitrure de chrome (CrN) en vue de leur application sur des outils de coupe et/ou de mise en forme. Les depots ont ete elabores par pulverisation cathodique magnetron en conditions reactives a partir de cibles metalliques (Cr, Si et …
L'etude et la realisation des depots a base de chrome par pulverisation cathodique magnetron font l'objet de ce travail. En ce qui concerne les depots de chrome, l'evolution de la texture en fonction de la pression d'argon, et de la temperature des substrats a ete etudie. Cette evolution etant nettement differente de celle que predisent les lois …
Ce travail porte sur la synthese ainsi que la caracterisation physico-chimique et mecanique de revetements metalliques et ceramiques, obtenus par pulverisation cathodique magnetron d'une cible metallique d'acier inoxydable austenitique dans des plasmas reactifs argon-azote, argon-methane ou argon-oxygene. Les solutions solides metastables …
Dans cet article, nous presentons une nouvelle methode non destructrice de determination du module d'Young de revetements appliquee a des couches d'alliages d'aluminium elabores par pulverisation cathodique magnetron. L'influence de la pression de depot et de la composition chimique des revetements sur la valeur du module …
b-n elabores par pulverisation cathodique magnetron dans le but d'une application industrielle telle que le revetement d'outils de coupe. le diagramme de composition ternaire ti-b-n est explore par copulverisation reactive d'une cible de ti et de tib#2. le domaine de composition chimique centre sur 55% at. de ti, 15% at. b et 30% at.